技術參數：

旋轉工作臺

 重復精度(徑向)

(0.02+6H/10000)um

 重復精度(軸向)

(0.02+6R/10000)um

H為測量高度(mm),R為測量半徑(mm)

 轉速

4,6,10rpm

 工作臺有效直徑

150mm

 大調心幅度

3mm(帶有D.A.T.功能)

 大調水平幅度

1°(帶有D.A.T.功能)

 大測量直徑

100mm

 大工件直徑

400mm*

 大工件重量

10Kg

垂直軸(Z軸)

 垂直移動

150mm

 直線度(窄范圍)

0.15um/50mm

 直線度(全范圍)

0.3um/150mm

 與轉臺軸平行度

0.3um/150mm

 定位速度

利用操縱桿，大15mm/s(也可手動進給)

 測量速度

0.5，1，2，5mm/s

 大檢測高度

150mm(外徑),150mm(內徑)

 大檢測深度

90mm

水平臂(X軸)

 水平移動

75mm(包括工作臺旋轉中心25mm的突出量)

 定位速度

利用操縱桿，大8mm/s(也可手動進給)

測針和測頭

 測量范圍

400um

 測力

7-10mN

 標準測頭

12AAB681、硬質合金球、 1.6mm

 測量方向

雙方向

 測頭角度調整

45°(帶刻度)

數據分析系統

 分析軟件

Roundpak

 用于圓度評估的

 參考圓

LSC,MZC,MIC,MCC

 濾波類型

2CR-75%,2CR-50%,2CR-75%(相位校正),2CR-50%(相位校正、高斯濾波

器、濾波器關斷)

 截止值

15upr,50upr,150upr,500upr,1500upr,15-150upr,15-500upr,15-1500upr,50-500upr，50-1500upr,150-1500upr,手動設定

供氣

 氣壓

390kpa(4kgf/ )

 耗氣量

30L/min

 電源

100V AC-240V AC,50/60Hz

  *如選用測針夾鉗(1211B597),則測量范圍可擴展至 70mm至 220mm.

 如需進行離工作臺旋轉中心小于或等于20mm、離工作臺面小于或等于20mm的徑向測 量，則需使用附件臺選件(356038)